High Purity Gas Regulator / °í¼øµµ °¡½º ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ
¡á ÀçÁú : ´ÙÀ̾ÆÇÁ·¥ SUS 316L, Å©·Òµµ±Ý (cr-3)
¡á ³»ºÎ¿¡ SUS ÇÊÅͷΠó¸®ÇÑ °í¾Ð ĸ½¶ ÀåÂø (ºÒ¼ø¹° Á¦°Å¿ë)
¡á Max. Inlet Pressure : 15 MPa
¡á Max. Outlet Pressure : 0.6 MPa
¡á »ç¿ë À¯·® : Max. 220 L/min
¡á »ç¿ë ¿Âµµ : -5 ~ 40¡É
¡á °¡½º Å©·Î¸¶Åä±×·¡ÇÇ, ·¹ÀÌÁ® °¡½º ¹× »ùÇøµ °¡½º ºÐ¼®, Zero °¡½º, ¹è±â°¡½º¿¡ ÀûÇÕ
¡á TANAKA
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¡á Max. Inlet Pressure : 15 MPa
¡á Max. Outlet Pressure : 0.6 MPa
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¡á TANAKA